◆リンテック◆LED光源を使用したUV照射装置を発売 - 週刊LED業界ニュース

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◆リンテックが、UV硬化型テープ*1を用いたダイシング(ウ
ェハ切断)工程用として、LEDランプを使用することにより
消費電力を大幅に削減したセミオートUV照射装置「RAD-210
0m/12」を発売しています。

回路を形成したウェハを一つ一つのチップに切断した後、
ウェハ固定用テープにUVを照射し、テープの粘着力を低下さ
せてチップのピックアップを容易にするUV照射装置。
 
http://www.lintec.co.jp/news/2012/120731_a/

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